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      LED拋光墊,LED拋光皮,LED藍寶石拋光皮的作用

      2015-3-12 15:50:47??????點擊:

        隨著光電技術的加速發展,光電產品對藍寶石襯底材料需求量的日益增加,同時隨著LED元件的不斷拓展,藍寶石已經成為最重要的襯底材料之一,具有極大的國內外市場需求。藍寶石襯底研磨拋光在LED行業顯得猶為重要,LED襯底拋光所使用的耗材比較多,今天主要給大家講一下LED拋光墊的作用。

        LED拋光墊也叫藍寶石拋光墊,LED拋光皮等。不同的公司叫發不一樣,但作用都是一樣的。廣泛用于各種精密拋光,儀器拋光,儀表拋光,液晶玻璃基板、光學玻璃、半導體、硅片、光學鏡面拋光,鐳射唱片拋光,表面粗糙度極高的工件鏡面拋光等材料的高精度拋光。

        在使用平面研磨機研磨LED襯底時,LED拋光墊將拋光液中的磨粒輸送到工件表面,使突起的部分平坦化,是輸送拋光液的關鍵部件。拋光墊的剪切模量及彈性模量、粗糙度和可壓縮性等機械特性對工件的平整度及去除率有著重要影響。拋光墊的硬度對拋光均勻性有明顯的影響,硬墊可獲得較好的晶片內(Within Wafer. WIW)均勻性和較好的平面度,軟墊可改善芯片內(Within Die.WID)均勻性,通過組合使用硬墊及軟墊,來獲得良好的WID和WIW,如在圓片及其固定裝置間加一層彈性背膜,就可滿足剛性及彈性的雙重要求。拋光墊按其組成的材質,可以分為聚氨醋拋光墊、無紡布拋光墊、帶絨毛結構的無紡布拋光墊和兩層符合體拋光墊。拋光墊的表面粗糙度及多孔性將影響工件實際參與加工的面積、拋光液的傳輸量和材料去除率。拋光墊表面越粗糙,接觸的面積就越大,使得材料去除率增大。拋光墊經過多次使用后,其表面會逐漸“釉化”,從而使去除材料的速度下降。這時,可以用修整的方法來恢復拋光墊的粗糙度,一般采用修整環修整,達到恢復或改善拋光墊輸送拋光液的性能,從而使去除速度得到維持且延長拋光墊的壽命。因而改進拋光墊、延長其使用壽命從而減小加工損耗是CMP技術的主要挑戰之一。

        深圳海德研磨提供LED拋光皮?!ED拋光墊:提供各種尺寸、材質的拋光墊。所有拋光墊均帶背膠,便于將拋光墊固定在拋光盤上??梢話伖舛喾N材質的工件,如硅片、砷化鎵、石英晶體、藍寶石、金屬、玻璃、半導體材料等。LED藍寶石拋光墊是一種絲絨狀拋光布,可用于光學元件的終道和手修,以及晶體和金屬等材料的終道拋光,也可用于透鏡的防護墊,背面帶膠。

        基本描述:產品有耐磨耗,使用周期長,耐高溫等特點,可以按客戶要求調整規格、可背膠、可開槽。

        厚度:0.8(mm)、1.0(mm)、1.27(mm)、1.5(mm)、2.0(mm)供選擇使用。

        文章關健字:LED拋光墊

        文章來源:http://yanmoye.cn/Product/paoguangpi/

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